Η επιθεώρηση ημιαγωγών αποτελεί ένα κρίσιμο βήμα για τη διασφάλιση της απόδοσης και της αξιοπιστίας σε όλη τη διαδικασία κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Ως ανιχνευτές πυρήνα, οι επιστημονικές κάμερες παίζουν καθοριστικό ρόλο — η ανάλυση, η ευαισθησία, η ταχύτητα και η αξιοπιστία τους επηρεάζουν άμεσα την ανίχνευση ελαττωμάτων σε μικρο- και νανοκλίμακα, καθώς και τη σταθερότητα των συστημάτων επιθεώρησης. Για να καλύψουμε τις ποικίλες ανάγκες εφαρμογών, προσφέρουμε ένα ολοκληρωμένο χαρτοφυλάκιο καμερών, από σάρωση υψηλής ταχύτητας μεγάλου μεγέθους έως προηγμένες λύσεις TDI, που εφαρμόζονται ευρέως στην επιθεώρηση ελαττωμάτων πλακιδίων, στις δοκιμές φωτοφωταύγειας, στη μετρολογία πλακιδίων και στον έλεγχο ποιότητας συσκευασίας.
Φασματικό εύρος: 180–1100 nm
Τυπική QE: 63,9% @ 266 nm
Μέγιστος ρυθμός γραμμής: 1 MHz @ 8 / 10 bit
Στάδιο TDI: 256
Διεπαφή δεδομένων: 100G / 40G CoF
Μέθοδος ψύξης: Αέρας/Υγρό
Φασματικό εύρος: 180–1100 nm
Τυπική QE: 50% @ 266 nm
Μέγιστος ρυθμός γραμμής: 600 kHz @ 8 / 10 bit
Στάδιο TDI: 256
Διεπαφή δεδομένων: QSFP+
Μέθοδος ψύξης: Αέρας/Υγρό
Φασματικό εύρος: 180–1100 nm
Τυπική QE: 38% @ 266 nm
Μέγιστος ρυθμός γραμμής: 510 kHz @ 8 bit
Στάδιο TDI: 256
Διεπαφή δεδομένων: CoaXPress 2.0
Μέθοδος ψύξης: Αέρας/Υγρό